一个大笑话:100个光刻机造100条芯片产线
2023-04-14 08:54:38 陈经


(资料图片仅供参考)

有个叫“淡然小司”的人谈芯片自给率,提到了我。他的说法里有很多问题,缺少产业常识。一个大笑话:100个光刻机造100条芯片产线

1. 聊芯片业,大多数人都缺乏产业常识,典型就是这个“淡然小司”。没有专业知识,无法用正确的名词来聊问题,就会用一些语文式的模糊理解来想当然。我有些朋友是在芯片制造业的,业内人士也会出来写科普文章,有专门聊芯片知识的公众号等平台。但是说实在的学习门槛比较高,如果没有下功夫去把芯片产业名词概念、芯片制造FAB流程搞清楚,真的很不好懂,容易犯理解错误,因为实在是坑太多了。

2. 例如这个文章,里面谈到了“芯片产线”,说进口光刻机ASML的85台,日本尼康的20台,上电微还自产20台。然后就说,一年能建100条芯片产线。这个只能说对芯片产线很缺乏常识,业界人士一看就知道是大笑话。

3. FAB里一条芯片产线,会有几十个到上百个“机台”,每个机台上面是一些机器,晶圆批量装在foup(晶圆传送盒)里,在天车上运到各个机台流水线处理,全部机台走完可能要1个月甚至更长时间。机器有很多种,主要用于光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂四大工艺。刻蚀机就有很多种,因为要在晶圆上反复沉积上各种材料,蚀刻掉指定的部分,晶圆也要精细蚀刻掉一些部分。蚀刻几十次都有可能,可以理解成在晶圆上刺绣雕花,芯片其实是沉积+刻蚀出来的。而光刻机是配合刻蚀机的,并没有直接去刻晶圆,是刷了光刻胶成像,来指定引导蚀刻的区域。所以一条产线上光刻机都是要不少的,绝对要多台。

4. 并不是一些人以为的,买一台光刻机,咣咣咣就把晶体管象激光刻字一样“光刻”好了;然后再一个中微的刻蚀机,再来几下就好了。这光刻和蚀刻都要几十道,多个光刻机和刻蚀机,一个芯片用于光刻的掩膜板mask就会有40多张甚至超过100张。有的可以用一个光刻机干,但是精度要求不同会用几台光刻机,也要并行加快速度,就用多个光刻机。有的产线规划产能大,甚至需要几十台光刻机。

5. 另外一个问题,上电微以前出的光刻机基本是后道光刻机,是用于芯片封装的,在晶圆加工的环节基本没有出货。最近也只是传闻说90nm光刻机用于65nm芯片产线,一年有4台出货。

6. 因此,买到100个光刻机,是不可能建起100条芯片产线的,十来条还差不多。总之,这个“淡然小司”缺少芯片产线常识。我介绍的这些芯片产线常识还很粗浅,但如果没有去理解学习,都不太容易明白。

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